飞秒激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究

摘要：

为了实现线路板的短流程制作,采用飞秒激光对覆铜板进行刻蚀实验,探索不同飞秒激光工艺参量(平均功率、扫描速度、扫描次数、离焦量)对刻蚀深度和底面粗糙度的影响.应用扫描电子显微镜、三维轮廓仪和能谱仪等检测技术对覆铜板刻蚀质量进行检测.结果表明:由于正离焦的散焦光束和负离焦的聚焦光束的传播特征不同,使得在同样离焦量的情况下,负离焦作用到烧蚀面的激光能量更加集中,加工深度更深.采用优化的激光参数,可以在铜厚规格约为18μm的覆铜板上刻蚀出深度为17.76 μm,粗糙度为0.52 μm的良好窗口,实现表层铜完全刻蚀,并保证环氧树脂基底的完整性.

关键词：飞秒激光、优化参数、覆铜板、刻蚀

所属期刊栏目：38

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金;江苏省自然科学基金;江苏省精密与微细制造技术开放基金资助项目;国家科技重大专项

在线出版日期：2018-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：81-88