微型器件飞秒激光加工参数对切缝坡度影响规律的实验研究

摘要：

利用飞秒激光在铝箔上按设定好的轮廓程序重复扫描直至切透得到所需轮廓的微型器件,研究了飞秒激光加工参数对切缝边缘坡度的影响规律.实验结果表明,透镜焦距、扫描速度和飞秒激光能量密度与切缝坡度密切相关.切缝坡度随着扫描速度的增大而增大,随着能量密度和聚焦透镜焦距的增大而逐渐减小.实验中飞秒激光切透大块铝箔材料即微型器件脱落时停止出光,切缝未能继续发育,坡度主要由材料上表面切割缝宽决定,与飞秒激光高斯能量分布特征和去除材料的阈值密切相关.

关键词：飞秒激光、微器件、坡度、加工参数

所属期刊栏目：37

分类号：TG456.7(焊接、金属切割及金属粘接)

在线出版日期：2018-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：693-697