皮秒激光无锥度打孔的外光路设计

摘要：

激光打孔是激光在工业中最重要的应用,是目前加工小孔中不可缺少的一种激光加工方法,特别是对一些脆性材料如陶瓷、玻璃、蓝宝石、高温合金等.为了提高孔的加工质量,设计了专用的光学系统进行旋转打孔,利用皮秒激光器在蓝宝石和镍基单晶材料(DD6)上实现了无锥度打孔,孔的圆度高＞95％,孔壁粗糙度Ra＜1.2μm,锥度＜1°,无重熔层和微裂纹.

关键词：激光打孔、无锥度打孔、旋转打孔、皮秒激光

所属期刊栏目：36

分类号：TN248.4;TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：航空发动机零件微小群孔制造装备研究及应用示范资助项目项目编号:2013AA040102

在线出版日期：2016-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：611-615