激光外差干涉仪在直线位移台滚转特性测量上的应用

摘要：

为了实现工业中较大直线位移上的滚转角快速测量,设计了一种基于激光外差干涉技术的几何空间对称四光路滚转角测量系统,并针对缺少滚转参数的较大行程位移台,进行了滚转特性测量试验.试验证明,几何空间对称四光路滚转角测量系统稳定性好,抗干扰能力强,不仅有效消除了其它自由度误差的串扰,还能够高效地测出不同精度直线位移台的滚转特性,并灵敏地再现了直线位移台工作条件发生改变时工作台滚转角变化.使用常用的2π/512细分的相位计和宽度为120mm的楔面反射镜,系统角测量分辨率为0.8”,最大可测行程达到6 m.若将相位计细分提高100倍,滚转角的测量分辨率将达到0.008”.当楔面反射镜宽度提高1倍,最大可测行程超过10 m.

关键词：外差干涉、滚转角误差、对称光路、滚珠丝杠

所属期刊栏目：36

分类号：TH707(仪器、仪表)

资助基金：沪江基金资助项目项目编号:C14002

在线出版日期：2016-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：96-101