水射流激光复合多道切割Al2O3陶瓷质量的试验研究

摘要：

以Al2O3陶瓷为研究对象,开展了低压水射流激光复合多道切割的试验研究.通过试验,对比分析了水射流激光复合单道切割技术与水射流激光复合多道切割技术的优劣;通过改变首刀激光参数,研究不同首刀切割深度对A12O3陶瓷基板的切割质量影响.试验结果表明,相较而言,低压水射流激光复合多道切割技术可以明显提高切割质量;在合理的首刀切割深度下,切缝内熔渣残留较少,切槽形貌规则,锥度基本保持在0.12以下.

关键词：低压水射流、激光多道切割、熔渣、锥度

所属期刊栏目：36

分类号：TG665

资助基金：国家自然科学基金;激光烧蚀低压水射流复合加工技术基础的研究资助项目

在线出版日期：2016-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：67-71