1.064μm红外皮秒激光器远紫外石英玻璃精密划线工艺研究

摘要：

对激光加工石英玻璃精密划线工艺进行了实验研究,探讨了不同工艺参数对加工效果的影响.使用1.06 μm红外皮秒激光器作为光源,对厚度为0.4 mm的JGS1-1远紫外石英光学玻璃薄片进行激光划线切割,在加工速度700 mm/s时,获得样品正面崩边11.08μm,背面崩边7.610 μm,侧面粗糙度为4μm的加工效果.结合实际加工要求,利用控制变量法分析了光源、占空比、点间距及聚焦光斑等工艺参数对加工效果的影响,得到一组最佳工艺参数.

关键词：皮秒激光、玻璃切割、控制变量法、工艺参数

所属期刊栏目：35

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

资助基金：武汉市产学研资助项目项目编号:CXY201421

在线出版日期：2015-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：488-492