Al2O3-SiC复相陶瓷水射流辅助激光刻蚀的研究

摘要：

对比研究Al2O3-SiC复相陶瓷激光直接刻蚀和水射流辅助激光刻蚀的作用效果,并讨论水射流流速对刻槽形状和蚀除量的影响.研究结果表明,水射流辅助激光刻蚀的加工方法能够大大减少刻槽内熔渣的堆积,有效降低再铸层厚度,显著提高刻槽的加工质量.在一定范围内,水射流流速越大,刻槽的形状越来越接近于标准的“V”槽;水射流流速不断增大时,激光的能量损失越多,导致刻槽的蚀除量不断变小.

关键词：Al2O3-SiC复相陶瓷、激光刻蚀、水射流、V槽、蚀除量

所属期刊栏目：35

分类号：TG665

资助基金：国家自然科学基金51175229

在线出版日期：2015-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：483-487