硬质合金基体微织构对TiAlN涂层膜—基结合性能的影响

摘要：

为了研究硬质合金表面激光微织构工艺对膜-基结合性能的影响,利用光纤激光对硬质合金表面进行了微织构造型(不同微凹坑直径、深度及密度),并选用PVD工艺利用超高真空多功能的磁控溅射系统对硬质合金织构后的表面进行TiAlN涂层的沉积;采用HXD-1000TMSC/LCD显微硬度计测定了涂层表面的显微硬度;应用X-350A X射线应力测定仪检测了基体织构后的表面残余应力以及涂层后试样截面的残余应力.研究结果表明:硬质合金基体激光微织构处理对涂层表面的显微硬度具有一定的影响,其中织构密度对显微硬度的影响较大;硬质合金表面激光微织构会在基体上引入残余拉应力,凹坑间距对残余应力影响很小,而织构密度对残余应力的影响较大.

关键词：激光微织构、硬质合金、TiAlN涂层、显微硬度、残余应力

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分类号：TU512.5(建筑材料)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;江苏省普通高等学校研究生科研创新计划;浙江省国际科技合作专项;江苏省"六大人才高峰"高层次人才项目;科技部中俄双边政府间科技合作项目;中国博士后科学基金;江苏省博士后基金;温州市工业科技研究开发项目;温州大学高级人才启动基金;江苏省企业博士集聚计划;高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项;江苏省普通高等学校研究生科研创新计划

在线出版日期：2015-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：504-507