射频板条激光器反射镜变形自适应补偿的有限元仿真研究

摘要：

针对射频板条CO2激光器所采用的非稳—波导混合腔反射镜热变形问题.利用有限元分析法仿真得出了反射镜的热变形和温度分布,并提出了一种背面多热丝同步加热自适应补偿方法.结果表明,加热补偿方法可将反射镜的曲率变形从0.16％降低到0.02％以内,并获得了不同激光功率下的补偿曲线.

关键词：射频板条激光器、反射镜、ANASYS、有限元仿真、热补偿

所属期刊栏目：34

分类号：TN208(光电子技术、激光技术)

资助基金：福建省自然科学基金2011J01334

在线出版日期：2014-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：346-349