基于紫外纳秒脉冲激光的微加工系统设计与实验分析

摘要：

介绍了紫外纳秒脉冲激光微加工系统的设计,以及利用该系统对不同材料的样品进行加工实验分析.系统采用355 nm波长的紫外纳秒脉冲激光作为加工光源,设计了光路机械结构和基于DSP和FPGA的运动控制板,驱动3D运动平台带动样品运动实现加工.上位机软件对加工图像进行解析,并对加工过程进行控制.光路结构的共焦特性,保证了CCD的照明光源和加工光源共焦平面,实现了自动聚焦和在线观测功能.利用该微加工系统,针对单晶硅、光敏玻璃、陶瓷、金属等材料展开了多种加工实验,验证了系统性能的可靠性和实用性,通过对不同材料的加工结果进行了观测和分析,对加工参数和工艺进行了优化,总结了紫外脉冲激光针对不同材料的加工特性.

关键词：紫外纳秒脉冲激光、微加工、硅、光敏玻璃

所属期刊栏目：34

分类号：V261.8(航空制造工艺)

在线出版日期：2014-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：126-130