一种CO2激光快速加工玻璃微透镜的方法

摘要：

提出了一种新的制造微透镜的制作方法.该方法基于CO2激光与玻璃材料的热透镜效应,在玻璃基片上制作微透镜阵列,是一种低成本、高效率的制备玻璃微透镜阵列的方法.采用CO2激光照射在模板上,模板上通光部分为圆孔阵列,利用金属孔阵模板进行选择性投影扫描加工,通过实验数据分析,合理的控制离焦距离,激光功率和辐照时间,可以制造微透镜阵列.最后用共聚焦显微镜及光纤探针扫描仪对微透镜的轮廓及聚焦光斑进行了检测,样品的轮廓曲线较为平滑、对称,且具有较好的聚光能力,证实了该方法的可行性与可靠性.

关键词：玻璃、微透镜阵列、热透镜效应、共聚焦显微镜、光斑探针扫描仪

所属期刊栏目：34

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项资助项目2011YQ030112;北京市教育委员会科技计划重点项目KZ201210005009

在线出版日期：2014-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：62-66