DMD数字微镜驱动控制系统分析及其应用

摘要：

数字微反射镜器件(DMD)是数字式光处理(DLP)投影显示技术的核心,有着巨大的应用潜力.叙述了DMD的控制原理和特点.首先,基于DMD数字微镜控制器的驱动控制系统和采用二进制脉宽调制(BPWM)技术精确控制光源,接收PC机传输的实时图像显示数据,生成控制DMD翻转的控制时序及其复位脉冲信号,搭建了蓝光半导体激光投影光刻装置,实现了高分辨率灰度图像的分层曝光和曝光量的精确控制；其次,基于DLP投影系统,采用RGB激光源,通过光纤耦合和合束,建立了激光投影实验装置.

关键词：DMD、DMD驱动控制、二进制脉宽调制、灰度投影光刻、DLP技术、激光投影

所属期刊栏目：32

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：上海市科学技术委员会应用技术开发专项资金资助项目2010-212

在线出版日期：2013-05-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：212-216