低真空中脉冲激光烧蚀凹腔的实验分析

摘要：

在低真空条件下,利用Nd:YAG激光器产生的波长532 nm、脉宽4.4ns的脉冲激光聚焦在置于低真空中的于钢铁样品,分析了激光作用后形成的凹腔形貌与激光能量密度、脉冲个数的关系.结果显示,凹腔的直径和深度随激光能量密度及脉冲个数的增大而增加,并且在能量密度小于20 GW/cm2及脉冲个数小于100的情况下凹腔的直径和深度增幅更为明显,反之,其增加趋势变缓.

关键词：低真空、激光烧蚀、凹腔

所属期刊栏目：32

分类号：O653(分析化学)

在线出版日期：2013-05-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：139-142