大幅面光刻胶板的显影工艺与终点控制技术

摘要：

为了均匀显影大幅面激光全息光刻胶板,获得最佳衍射效果,使用自动喷淋显影工艺技术.文章讨论了显影方法及工艺对显影槽深均匀性的影响,包括激光的曝光能量,显影药液的浓度、温度、时间及胶板入液先后时间.通过多种显影方法比较,自动喷淋显影可以克服人工显影操作引起的时间、平稳性误差导致大幅面全息光刻胶母版显影不均匀、光栅槽型、终点控制和重复性差等缺陷,获得最佳显影效果.

关键词：激光全息、光刻胶、自动显影、终点检测、全息设备

所属期刊栏目：28

分类号：TS8;TS6

资助基金：上海市科委应用技术开发项目06-008

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：508-510