高反射率193nm反射膜的实现

摘要：

对应用于193nm反射膜的基底材料、薄膜材料、沉积技术与主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,在此基础上进行了193nm反射膜的设计、制备及后处理,实现了时间稳定性与环境稳定性良好的193nm反射膜,反射率达98%以上.

关键词：193nm、反射膜、反射率、光学稳定性

所属期刊栏目：28

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：上海市重点学科建设项目B503

在线出版日期：2008-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-21,29