玻璃材料微通道的三倍频激光微加工研究

摘要：

本文提出了一种新的制备生物芯片微通道的方法,从玻璃材料的特点与激光精密加工的优点出发,用三倍频ND:YAG激光器(λ=355nm)在玻璃基体上加工生物芯片微通道.文章对这种方法进行了初步探索,先用三倍频紫外激光对玻璃直接刻蚀,再用显微镜、三维形貌仪观察与测量所形成的微通道的质量.实验得出了激光脉冲重复频率与振镜扫描速度对微通道刻蚀的影响关系,以及要防止玻璃碎裂,所需要的激光能量密度.

关键词：玻璃、生物芯片、微通道、三倍频激光、微加工

所属期刊栏目：26

分类号：TG665

资助基金：国家自然科学基金05575005;北京市科委科研项目KW200510025013

在线出版日期：2007-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：365-368