激光诱导化学气相沉积法制备纳米a-Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究

摘要：

为了制备高纯度的非晶纳米粉体,在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上,引入"双光束激励"的新方法,利用正交紫外光束激励分解,从而提高气相中N/Si比,减少产物中游离硅的浓度.研究了粒子的红外吸收光谱特性,并指出表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱的蓝移和宽化现象,同时红外吸收光谱中的这些反常现象也验证了粉体的纳米特性.

关键词：激光诱导化学气相沉积、氮化硅、红外吸收光谱、拉曼光谱

所属期刊栏目：24

分类号：TB3;TN2

在线出版日期：2005-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：405-408