微纳米颗粒的激光去除

摘要：

微纳米颗粒的去除是半导体、微电子、微型机械、精密光学等高新技术中的关键问题,而常规清洗方法难以有效去除.近年来国际上发展的DLC、SLC激光去除方法非常有效,本文对DLC、SLC的实验方法、去除机制、影响因素和规律等进行综述,指出了存在的问题.

关键词：短脉冲激光加热、颗粒去除、微纳米、爆发沸腾

所属期刊栏目：24

分类号：R73;TN8

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G2000026305;国家自然科学基金50376063

在线出版日期：2005-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：217-220,254