深缝衍射光通量损耗公式及缝宽测量

摘要：

本文提出了深缝衍射光通量损耗的一种近似计算方法,计算及实测表明,这种方法可作为测量深缝宽度的理论根据,测量下限为微米.

关键词：衍射、光通量、计算方法

所属期刊栏目：20

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：原机械工业部科学基金

在线出版日期：2007-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：185-186