非晶SiHxOy薄膜的强可见荧光

摘要：

采用PECVD方法制备了非晶SiHxOy薄膜,室温下观察到了性能稳定的强荧光发射现象,其中365nm、470nm、730nm三个带由分立能级的荧光峰组成,说明这些荧光带起源于氧有关的能级.通过能级间相对荧光强度的变化解释了发射带中心位置的移动现象.

关键词：α-SiHxOy、薄膜、荧光特性、杂质能级

所属期刊栏目：20

分类号：TN3;O43

资助基金：苏州大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：124-126