用视频显微镜实现显微干涉计量的实验研究

摘要：

采用视频显微镜作为显微成像和电子记录的工具进行显微干涉计量,光路简洁,调整方便.用显微云纹干涉系统和显微散斑干涉系统分别测量了物体的面内变形、离面位移和物体的形状.实验结果表明视频显微镜可应用于各种显微干涉计量场合.

关键词：视频显微镜、云纹干涉、散斑干涉

所属期刊栏目：20

分类号：TN2;TH7

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：97-100