晶体硅金刚线切割废料制备高纯氮化硅

摘要：

以晶体硅金刚线切割废料为原料,通过氮化反应制得氮化硅,既回收了金刚线切割废料,又解决了环境污染的问题.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量色谱仪(EDS)等技术手段研究了原料经HCl和HF酸洗净化后制备氮化产物的物相组成、组分质量分数和微观形貌的影响.结果表明,HCl酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si2 N2 O和Si3 N4,而HF酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si3 N4.氮化产物中Si2 N2 O的形成与切割废料中SiO2的质量分数有关,降低原料中SiO2的质量分数是切割废料经过高温氮化制得氮化硅的前提.

关键词：金刚线切割废料、酸洗除杂、氮化硅、回收利用

所属期刊栏目：35

分类号：O613.7(无机化学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划 51334004

在线出版日期：2018-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1364-1371