硫鎓盐产酸剂的合成及其产酸效率

摘要：

合成了6种适用于248 nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻GFDA1体系的产酸剂为自行设计合成. 利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸收在250～285 nm之间,吸收域较宽,适用性较强.同时,利用酸敏染料罗丹明B遇酸异构变色的特点,使用紫外!可见分光光度计定量检测了6种产酸剂在乙腈溶剂中的产酸效率,其中硫杂蒽酮系列的产酸剂产酸性能最好. 最后使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,发现产酸剂的产酸性能同溶剂的选取密切相关,随着溶剂极性的减小,产酸效率随之降低. 对6种硫鎓盐的产酸效率检测结果可以为产酸剂进一步用于248 nm光致抗蚀剂配方提供详细的参考.

关键词：硫鎓盐、产酸剂、产酸效率

所属期刊栏目：26

分类号：O625(有机化学)

在线出版日期：2010-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1194-1199