金属的化学-机械抛光技术研究进展

摘要：

介绍了近年来金属化学-机械抛光(CMP)技术的一些研究进展. 内容包括CMP技术的实验方法进展与抛光效果的表征,CMP设备与消耗品的发展. 分析了目前CMP技术存在的问题,提出了可能解决问题的一些建议. 认为定量CMP速率方程的建立是解决好终点在线检测的关键之一.

关键词：金属、化学机械抛光、综述

所属期刊栏目：20

分类号：O646(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家杰出青年科学基金59925412

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：415-419