投影系统中DMD衍射效率的研究

摘要：

数字微镜阵列(DMD)作为空间调制元件常用于投影光学系统,入射光为长波红外时产生的衍射效应会影响进入系统的能量分布,该文主要讨论光源入射角度对衍射效应的影响,将DMD作为闪耀光栅模型,研究其在长波红外波段产生的衍射效应.从光程差的角度分析在主、副对角线分别处于"开态"情况下的衍射效应,发现衍射效应与入射角度有关;将DMD作为闪耀光栅模型,采用矢量衍射理论计算7.7?μm～9.5?μm波段下DMD处于"开态"下的衍射效率.计算结果表明:当TM偏振光以44°角照射时,1级衍射达到闪耀状态,衍射效率可达到70％.

关键词：数字微镜阵列、矢量衍射理论、闪耀光栅、长波红外

所属期刊栏目：43

分类号：TN206(光电子技术、激光技术)

资助基金：长春理工大学青年科学基金;吉林省科技发展计划项目

在线出版日期：2022-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：198-203