基于激光和CCD组合的小孔转轮重复定位精度测量方法

摘要：

小孔转轮是某试验装置光路自动校准系统的关键器件,重复定位精度是其重要指标之一.为了有效测量运行于真空环境下的小孔转轮重复定位精度,提出了一种基于激光和CCD组合的测量方法,并以转轮滤波小孔光斑中心的位置重复性作为其重复定位精度的评价指标,搭建了一套完整的测量系统.利用CCD采集通过转轮滤波小孔的激光光斑,通过图像处理的方法对激光光斑图像进行滤波去噪、阈值分割、二值化、边缘检测等预处理,利用最小二乘法对激光光斑进行圆拟合,得到光斑中心坐标.在非真空环境下与激光干涉仪进行了对比实验,两者测量的角度偏差仅相差11″,表明了该测量方法具有较高的精度,可以满足测量要求.采用该测量方法对真空环境下的小孔转轮进行了约6 h正反往复各60次的重复性测量,结果表明,该测量方法能有效测量真空环境下小孔转轮的重复定位精度.

关键词：激光;CCD;小孔转轮;重复定位精度;图像处理;最小二乘法

所属期刊栏目：42

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家科技重大专项;中国工程物理研究院创新发展基金

在线出版日期：2021-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：919-925