两种玻璃微通道阵列的制作技术及比较

摘要：

微孔玻璃阵列是采用原子层沉积技术制作微通道板的基底板,其微孔阵列的分布均匀性以及每个通道内壁的光滑程度,对其后续制作合格微通道板至关重要.分别采用空芯工艺和实芯腐蚀工艺来制作上述基底板,分析了两种技术的优缺点,阐述了两种方法中的关键技术,并对原子沉积技术制作的微通道板与常规工艺制作的微通道板进行了性能比较,前者的信噪比优于后者.

关键词：微孔玻璃阵列;微通道板;原子层沉积技术;空芯法;实芯法;均匀性;内壁粗糙度;信噪比

所属期刊栏目：42

分类号：TN223(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;核探测与核电子学国家重点实验室项目

在线出版日期：2021-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：796-801