紫外宽光谱大相对孔径光学系统设计

摘要：

现有大部分紫外光学镜头的工作带宽较窄,紫外镜头的材料相对较少,镜头的紫外色差校正困难,导致其应用适应性降低.采用负正透镜交叠分布与类双高斯对称式结构形式,并利用熔石英材料和氟化钙材料本身的宽光谱透过性,设计了一种兼具大相对孔径、宽视场和高分辨率的紫外宽光谱光学系统.该系统的工作波长范围为240 nm～360 nm,紫外工作带宽高达120 nm,所有透镜均采用球面透镜,便于加工和检测.在全视场范围内,以中心波长300 nm为参考波长,系统横向色差最大值不超过1个像素,在截止频率50 lp·mm?1处的调制传递函数值优于0.4,并且各个视场的像点弥散斑半径均方根值均优于10μm.设计结果表明:该紫外宽光谱光学系统的成像性能优良,分辨率高,色差小,满足设计要求.

关键词：光学设计;紫外光学系统;紫外宽光谱;大相对孔径

所属期刊栏目：42

分类号：TN202;TH703(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;江苏省自然科学基金;江苏省高等学校自然科学研究面上基金;江苏省高等学校大学生创新创业训练计划项目;南京信息工程大学优秀本科毕业设计论文支持项目

在线出版日期：2021-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：761-766