大长径比皮料玻璃管加工工艺研究及应用

摘要：

为满足高增益、低噪声微通道板要求的大长径比皮料玻璃管,采用精密机械整形冷加工工艺提高皮料管的几何均匀性,实现微通道板的性能提升.通过改善机床加工误差、对刀误差以及设计合适的机动夹紧机构可有效控制皮料管内圆精磨加工精度.对磨头转速、背吃刀量、轴向进刀速度及金刚砂磨头粒度4个水平因子开展L16正交试验,得出背吃刀量是影响皮料管内圆精磨加工表面质量的主要因素.选择合适的抛光工艺及工装夹具,最终将皮料管的尺寸变化量控制在1％以内,表面粗糙度Ra值有效控制在0.02μm.通过Φ25/6型微通道板制板试验,结果表明:减小皮料管的几何尺寸偏差在一定程度上提高了微通道板阵列一致性、开口面积比一致性,以及增益均匀性,对制造高性能微通道板有较好的借鉴作用.

关键词：皮料玻璃管、冷加工、大长径比、微通道板

所属期刊栏目：42

分类号：TN205(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2021-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：346-351