硅基光学相控阵性能评估方法

摘要：

针对典型光学相控阵,建立了一套硅基光学相控阵芯片性能评估方法,为光学相控阵优化设计提供可靠的数据支撑.通过设计傅里叶成像系统对光学相控阵进行动态成像,能够实现对近场远场成像的同步观察.在该基础上设计校准方案对相控阵初始相位进行校准优化,同时对扫描速度、角度和精度等特性参数进行了从理论推导和仿真到测试系统结构设计的整体分析.

关键词：硅基光学相控阵、测试系统、性能评估、相位校准

所属期刊栏目：42

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：吉林省重大科技攻关专项20190302050GX

在线出版日期：2021-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：242-246