应用波像差理论计算Kirkpatrick-Baez系统的调制传递函数

摘要：

调制传递函数(modulation transfer function,MTF)曲线可以客观地评价光学系统的成像性能.基于平面对称光学系统的波像差理论,给出了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜光学系统主要像差的波像差计算表达式,采用自相关法,通过Gauss-Legendre数值积分求解并绘制了KB系统的MTF曲线,且与光学分析软件的MTF曲线进行对比.结果 表明:应用波像差理论计算调制传递函数不仅可以定量直观地分析KB系统的成像性能,而且能进一步解析光学系统的单项像差分布情况,提供更具针对性的系统优化方案.

关键词：调制传递函数、波像差理论、Kirkpatrick-Baez系统

所属期刊栏目：41

分类号：TN201;O439(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61975111

在线出版日期：2020-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：904-910