基于PDMS的光纤端面微纳结构转移法

摘要：

微纳光纤传感器将微纳加工与光纤传感技术有机结合,具有重大的科研意义和产业化潜力.现有加工方法无法达到任意复杂三维结构可制备化,从而限制了微纳光纤传感器的发展.介绍了一种新型微纳加工方法,该方法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜上实现微纳结构的制备,之后将薄膜连同微纳结构一同转移到光纤端面,在光纤端面实现人为定义三维立体微纳结构.通过在扫描电镜下对制备的样品进行检测,确认PDMS薄膜及其上三维结构可被无损转移至光纤端面.该方法具有易制备、低成本且可加工三维微纳结构的特点.

关键词：光纤、三维微纳结构、微纳加工、聚二甲基硅氧烷、干涉曝光

所属期刊栏目：41

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：中科院重点部署项目ZDRW-XH-09-3

在线出版日期：2020-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：631-636