FFT动态相位重建算法的滤波窗影响分析

摘要：

为了优化相位重建算法,针对波面干涉图的傅里叶频谱,分析了不同滤波窗口的分布特征和频谱响应,通过计算机仿真和实验测试,确定了FFT动态相位重建算法的最佳滤波窗口类型.其中处理仿真干涉图重建的波面与原始波面的波面峰谷值残差为0.0085λ,波面均方根值残差为0.0001λ;处理实验干涉图获得的波面与移相干涉测量法获得的波面峰谷值残差为0.0093λ,波面均方根值残差为0.0005λ.结果表明:选取Hamming窗进行滤波处理并重建的相位经拟合后得到的波面较参考波面的面形残差最小,相位重建精度优于0.01λ,可进一步应用于大口径光学元件的测量中.

关键词：光学元件、傅里叶变换、相位提取、移相、干涉图

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分类号：O436.1(光学)

资助基金：陕西省自然科学基础研究计划2018JM6031;陕西省教育厅重点实验室科研计划18JS054;西安市智能探视感知重点实验室项目201805061ZD12CG45

在线出版日期：2020-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：163-169