基于二维MEMS器件的微型投影技术

摘要：

利用微机电器件的二维偏转特性,以激光二极管为光源,通过二者结合来实现激光扫描微机电器件的投影系统.和传统微型投影技术相比,基于微机电器件的微型投影显示系统具有尺寸小、能耗低、图像对比度高等优点.根据元器件特性,对激光光束进行准直、汇聚、匀化处理,并借助二维微机电器件的反射偏转特性设计了物镜后扫描系统,再对扫描方法、像素排列等进行优化分析.设计结果显示:系统像面尺寸为104 mm×59 mm,包含80％能量时单像素点几何半径在186μm以内,系统分辨率可以达到558×314 pixel,刷新率为30 Hz.设计的投影系统可用在车载平视显示系统等小型投影系统中,也可为类似设计提供参考.

关键词：微振镜、激光投影、成像系统、光束整形、车载平显、栅式扫描

所属期刊栏目：41

分类号：TN27(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61701045;吉林省优秀青年人才基金20170520163JH;长春理工大学创新基金2016?[03];长春市科技发展计划资助项目18DY016

在线出版日期：2020-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：156-162