基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法

摘要：

针对光学薄膜厚度测量困难问题,提出了一种基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法.采用经典迈克尔逊干涉光路,利用外差干涉原理将薄膜厚度差转换为光程差,以精密位移平台为扫描机构实现薄膜厚度的逐行扫描测量.测量系统在恒温实验条件下20 min内的漂移不超过8mm,测量结果平均差小于1nm,通过与椭圆偏振仪的测量结果比较,测量差值为12.97nm,表明了该方法的可行性.

关键词：激光干涉、外差、薄膜厚度、测量

所属期刊栏目：40

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：陕西省教育厅重点实验室科研计划项目16JS042;西安工业大学光电工程学院院长基金2017GDYJY02

在线出版日期：2019-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：473-477