基于棱镜结构的双波长M-Z干涉系统设计

摘要：

为了便于光程差的调节,利用全反射棱镜结构改进了传统的M-Z干涉系统,并建立了基于双波长干涉原理的M-Z测量系统理论模型.利用Zemax建立了完整的光学系统模型,对整个系统进行仿真分析测试.系统像质评价结果表明:532 nm～632.8 nm波段范围内系统的能量集中度达85％、畸变值小于0.02％、截止频率10 lp/mm时调制传递函数在0.9以上,满足对透射型试样进行测量的成像要求,为高性能干涉系统实用化提供了理论依据和技术支持.

关键词：双波长、M-Z干涉仪、棱镜、光学设计、测量

所属期刊栏目：39

分类号：TN202;O439(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金51677044;哈尔滨市杰出青年创新基金2017RAYXJ022

在线出版日期：2018-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：633-637