地平式离轴扩束光学系统装调技术

摘要：

为实现地平式离轴扩束光学系统的高精度装调,利用4D干涉仪加装平面镜头配合标准平面镜实现自准直检测,并针对实际使用过程中镜筒需要绕俯仰轴旋转的问题,提出一种动态检测方法.根据实际装调结果,建立空间直角坐标系,利用旋转过程中光斑最大偏离量计算二轴正交误差.装调结果表明,采用自准直检测及动态检测方法,主镜面形精度为0.028 8λ@632.8nm,系统波像差RMS为0.131λ@632.8 nm,二轴正交误差为2.06".

关键词：激光技术、光学调试、自准直检测、离轴扩束系统、反射式光学系统

所属期刊栏目：39

分类号：TN206;TH743(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2018-08-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：563-568