90°视向角内窥远心测量仪的光学设计

摘要：

针对深腔内深孔、微小孔或盲孔等,由于受到腔体尺寸形状和腔体结构的限制,导致对腔体内表面的检测及腔体内孔径形位信息的检测有很大的难度,设计了一种检测腔内小孔特征以及腔内状态的内窥镜光学探头.该探头为具有90°视向角、20 m m大景深、高分辨率的细径内窥镜,其放大倍率为-0.71×,最大畸变为0.5%,全视场MTF在166lp/mm处接近0.1,孔径检测精度为0.01mm,分辨率为0.005mm,且光学系统外径小于5mm,可用于对腔体直径范围15 mm~45 mm、孔径直径范围0.01 mm~4 mm的腔体零件内微小孔径形位信息的检测.

关键词：光学设计、孔径测量、内窥光路、双远心系统、大景深

所属期刊栏目：38

分类号：TN942.2;TH703

资助基金：吉林省科技厅科技支撑计划项目20130206028GX

在线出版日期：2018-01-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：890-895