一种应用于MOCVD的3波长在线红外测温方法

摘要：

根据金属有机物化学气相沉积(MOCVD)在线红外测温的发展需要,提出一种3波长免探测孔有效面积校准和反射率修正的测温方法.给出了探测1 300 nm、1 150 nm、940 nm 3波长的在线测温探头设计方案和光路图,将该探头应用于THOMAS SWAN CCS MOCVD 5.08 cm (2英寸)Si(111)衬底上生长10 μm GaN外延层的在线测温.测量结果表明:在700 ℃~1 100 ℃范围内,探头多次测量的重复性误差在1.0 ℃内,在950 ℃~1 100 ℃范围内,以EpiTT红外测温仪为参考,探头测温精度在1 ℃内,距离容差性为2 mm.该探头应用于我国自主研发的MOCVD 5.08 cm Si(111)衬底上生长InGaN/GaN MQW 结构蓝光LED外延片,可得最低测温量程为435 ℃,n-GaN生长过程中测量噪声为0.75℃.结果分析表明:该3波长免修正在线红外测温法对于高质量单层薄膜外延生长具有一定可行性,对于多层复杂结构外延生长需要进一步改进.

关键词：MOCVD、在线监测、红外测温、外延

所属期刊栏目：38

分类号：TN305;TH307(半导体技术)

资助基金：国家863高科技研究发展计划资助项目2011AA03A101;陕西省尾矿资源综合利用重点实验室开放基金项目2014SKY-WK012;陕西省教育厅专项科研计划项目16JK1241;商洛市科技计划项目SK2015-29

在线出版日期：2017-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：655-659,678