特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调

摘要：

针对快焦比特大非球面度离轴非球面反射镜,设计了3片式Offner补偿器.为应对3片式补偿器对中心偏差及镜间隔严格的公差要求,设计了相应的补偿器镜筒结构.该结构使透镜中心倾斜及平移调整相分离,实现补偿器的高精度装调.根据中心偏差测量仪的测量结果,2片补偿镜之间倾斜误差4.4″,平移误差3.5 μm, 镜间隔误差3.8 μm;补偿镜组与场镜之间倾斜误差5.3″,平移误差4.2 μm, 镜间隔误差7.2 μm,满足检测使用要求.利用该补偿器及4D动态干涉仪对精抛光阶段的离轴非球面进行检测,面形结果PVq值达到0.135λ,RMS值达到0.019 5λ,优于设计要求.

关键词：光学检测、离轴非球面、零位补偿器、镜筒结构设计、补偿器装调

所属期刊栏目：38

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金11203049

在线出版日期：2017-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：639-643