多波长广角f-theta透镜光学设计

摘要：

f-theta透镜作为激光扫描系统中必不可少的部件,对系统工作面尺寸、测量速度、测量精度等起着决定性的作用.为改变以往f-theta透镜扫描范围小、工作波长单一等不足,设计出了一种工作于486 nm~656 nm波段的广角f-theta透镜.通过初级像差分析,确定系统的初级结构参数,利用光学材料的不同色散性能分配合理的光焦度来进行色差校正.设计结果表明:f-theta镜头像散值在像差容限范围内满足平像场要求,f-theta镜头系统最大色差为3 μm,线性畸变误差值不超过0.015%,光能利用率接近90%,聚焦性能接近衍射极限,满足多工作波长、高精度激光打标机的实际需求.

关键词：光学设计、广角f-theta透镜、光焦度分配、激光打标

所属期刊栏目：38

分类号：TN202;TH703(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金51677044

在线出版日期：2017-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：533-537