基于连续激光的纳米结构研制

摘要：

基于激光受激辐射损耗原理的远场光学超分辨成像技术,当圆形入射高斯激光经过涡旋相位板调制后,将转变为中心光强为零的圆环形光束,该形状的激光束与光敏聚合物作用,能够制备出具有一定功能的纳米结构.介绍了自主搭建的基于圆环连续激光光源的激光直写系统,以及利用该系统研制的复合纳米结构.当光源为532 nm连续激光输出时,与正性光刻胶作用,得到直径＜50 nm的纳米柱复合结构,以及整齐均匀的纳米柱阵列结构;与负性光刻胶作用,得到直径＜100 nm的纳米通道,以及整齐均匀的中央有纳米通道的微米柱复合结构阵列.当光源为405 nm连续光纤激光时,与正性光刻胶作用,也得到了直径小至153 nm的纳米柱复合结构及其阵列.这些纳米结构的基本单元尺寸都突破了光学“阿贝衍射极限”的限制,具有实用潜力.

关键词：光学衍射极限、连续激光直写技术、相位调制、纳米柱阵列、功能纳米复合结构

所属期刊栏目：38

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：科技部国际科技合作项目2011DFA12220;国家自然科学重大研究计划项目91123030;国家自然科学青年科学基金项目11504294;陕西省教育厅基金项目2010JS110,14JS107

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：165-173