用于大孔径凸非球面检测的部分补偿透镜的优化设计

摘要：

针对部分补偿法和子孔径拼接技术对大孔径凸非球面进行测量时,部分补偿透镜的优化设计是关键技术之一,基于ZEMAX软件对用于大孔径凸非球面的部分补偿透镜进行了优化设计,以波前斜率作为优化目标,通过直接观察弥散圆半径对全口径的光线进行优化.设计结果表明,用结构简单的单片部分补偿透镜即可实现对大孔径凸非球面的面形测量,在不同的子孔径区域,部分补偿系统在理想焦面处的弥散圆最大半径均小于165 μm,满足设计要求,验证了结合部分补偿法和子孔径拼接技术测量大孔径凸非球面的可行性.

关键词：光学设计、部分补偿透镜、大孔径凸非球面、弥散圆

所属期刊栏目：37

分类号：TN202;O43(光电子技术、激光技术)

资助基金：教育部"长江学者与创新团队"发展计划IRT1212;北京市教委科研计划项目KM201511232006

在线出版日期：2016-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：747-751