基于Levenberg-Marquardt算法的大型非球面镜轮廓数据处理方法

摘要：

大型非球面镜通过加工-检测-再加工-再检测的制造工艺以满足面形精度要求,根据检测后的轮廓数据准确评定面形是提高再加工精度的关键.为解决抛光前镜面的面形评定问题,采用基于信赖域法则的Levenberg-Marquardt算法对参数进行拟合、误差补偿以及面形评定.利用Code V仿真分析算法性能,构建大型非球面轮廓仪测试抛物面加工件,对实测数据经过32次迭代得到元件参数及轮廓残差曲线,收敛精度为1.16×10-21.实验表明:该算法可对大型非球面镜轮廓数据进行高效准确的拟合、评定,为进一步提高再加工精度提供可靠依据.

关键词：大型非球面镜、Levenberg-Marquardt、误差补偿、非线性拟合、轮廓数据评定

所属期刊栏目：37

分类号：TN206;TH741(光电子技术、激光技术)

资助基金：民用航天“十二五”预研项目资助课题

在线出版日期：2016-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：555-560