一种四波长轮换的表面形貌干涉测量系统

摘要：

针对相移干涉法测量表面三维形貌时深度测量范围受波长限制这一问题,提出一种四波长表面形貌干涉测量系统.通过滤波片的轮换,将白光LED光源的先切换出4个不同波长的光源,并依次进行单波长干涉.为解决多波长干涉图像数据处理,采用基于椭圆拟合的算法,在逐帧逐点的相位计算条件下,运用大小尺度相结合的算法实现高精度宽范围的表面形貌测量.实验结果表明:在深度测量范围扩大到约41倍的条件下,测量经中国计量科学研究院采用粗糙度国家基准校准的方波多刻线样板,得到的表面粗糙度数据与校准数据相比,相对误差为4.09％.说明在一定的深度范围内,该系统能够实现表面形貌的高精度测量.

关键词：相移干涉、表面形貌测量、四波长、相差、椭圆拟合

所属期刊栏目：36

分类号：TN206;TH74(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51275157,51275158,51175154

在线出版日期：2015-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：847-851