基于数字光刻投影系统的快速微加工技术

摘要：

设计一种经济有效的微流体芯片加工方法,可以快速地在聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面加工出不同尺寸的微流路.利用商用数字投影仪的成像原理,对其进行简单的改装,得到成缩小像的数字光刻投影系统(DLPS),并利用该系统在PDMS表面加工微流路;同时通过荷叶效应和毛细吸附效应两组实验,对DLPS的加工性能进行了验证和应用.该DLPS可在PDMS表面加工微结构,最小稳定加工精度可达40μm,通过模仿荷叶效应获得的材料表面,其疏水角增加到123°±3°.该DLPS系统可用于快速加工微流体芯片,当流路尺寸要求不是很严格时,低成本和高效率等优点使该系统完全适合在普通实验室开展微流体技术的研究.

关键词：薄膜光学、微流路、数字光刻投影系统、聚二甲基硅氧烷、荷叶效应、毛细吸附效应

所属期刊栏目：36

分类号：TN23;TH74;TP604(光电子技术、激光技术)

资助基金：重庆市自然科学基金项目cstc2011jjA10018;重庆理工大学实验技术基金项目Sk201403

在线出版日期：2015-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：448-453