精密宏微复合绝对式光栅尺设计与研究

摘要：

通过对光栅尺原理的研究，设计一种宏微复合切换测量模式，利用增量码进行低精度测量，绝对码进行高精度测量。采用增量方式采集莫尔条纹的高速性，解决高精度绝对位置采集的低速性，实现宏微复合的高速与高精度的测量。实验证明，高精度低速绝对位置测量过程中测量精度可达0．6μm，在测量中使用新型高速与低速的变速切换测量方式，综合测量速度最高可以达到2m／s。

关键词：绝对光栅尺、宏微复合、速度切换、精密

分类号：TN202;TP394.1(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2015-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：287-293