不同结构绝对光栅尺的误码机制研究
针对光栅尺具有断电位置复位、无累计误差、高精度优点，在光学隔振平台上分别建立开放式和封闭式绝对光栅尺实验系统，绝对光栅尺采用图像识别原理，以气浮直线电机ArotechABL1500为参考对象，使用激光干涉仪RENISHAW XL‐80校核精度，研究不同结构绝对光栅尺的误码特点及原因。通过对比实验及研究分析，表明封闭式绝对尺相对于开放式绝对尺的误码率要高，开放式绝对式光栅尺的误码率为3％，封闭式绝对式光栅尺的误码率为8％。
绝对光栅尺、图像识别、开放式、封闭式、误码
TN202(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金51305084；广东省创新团队资助项目201001G0104781202；国家自然科学基金-广东省联合基金重点项目U1134004；广东省微纳加工技术与装备重点实验室开放基金项目GDMNML2013-O1；广东省重点实验室开放基金项目2011A060901026
2015-03-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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