基于YAG透明陶瓷制作衍射光栅元件的研究

摘要：

研究并制作了以钇铝石榴石（YAG）透明陶瓷为基底材料的衍射光栅元件。通过磁控溅射技术在YAG透明陶瓷表面溅射一层均匀致密的金属铬，获得带有硬掩模的陶瓷样品。借助接触式曝光系统进行光刻，反复试验，获得带有衍射光栅的YAG透明陶瓷样品。经光学轮廓仪检测，样品铬膜厚0．072μm ，光栅细节得到完好保留。实际光栅的衍射图样再次验证了以Y A G透明陶瓷代替传统微光刻基底材料制作衍射光栅的可行性，使得衍射光栅在更为复杂的环境下发挥作用成为可能。

关键词：衍射光栅、YAG透明陶瓷、磁控溅射、接触式曝光系统

分类号：TN305.7;TQ174.75(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61261026；南昌航空大学研究生创新专项资金YC2013-011

在线出版日期：2015-03-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102