基于 SOI 工艺的扭转式微机械扫描光栅设计及制作

摘要：

为实现微型光谱仪在工程领域的广泛应用，研究了其核心器件---扭转式微机械扫描光栅的结构与制作方法。利用SOI工艺，设计一种无需启动电极的静电梳齿驱动结构，可以使扭转式微机械扫描光栅具有低频驱动、制作工艺简单、扫描范围广等优点。通过设计的制作工艺方法，研制出了能够初步满足性能要求的扭转式微机械扫描光栅样件。测试结果表明：该微扫描光栅在驱动电压为25 V时最大转角可达到±4．8°，对应的光学扫描角为19．2°。

关键词：微扫描光栅、SOI工艺、衍射光谱、扫描角度

分类号：TN205(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：696-700